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ALD管式炉系统-- ALD-1200X-4 双通道ALD管式炉系统
ALD管式炉系统--ALD-1200X-R-4 ALD回转炉系统
ALD管式炉系统--ALD-GSL-4 2通道ALD控制单元
CVD石墨烯和纳米管生长炉--GSL-1100X-III-D11-8 1100℃双管三温区管式炉(石墨烯生长)
CVD石墨烯和纳米管生长炉--OTF-1200X-III-D5-4 1200℃双管三温区(石墨烯生长炉)
高真空CVD系统-- GSL-1700X-HVC9 1700°C九通道混气高真空CVD系统
高真空CVD系统--OTF-1200X-HVC 1200°C二通道混气高真空CVD系统
高真空CVD系统--OTF-1200X-III-HVC 1200°C三温区二通道混气高真空CVD系统
CVD石墨烯和纳米管生长炉-- GSL-1100X-III-D11 大面积双管石墨烯生长炉(三温区,最高温度为1100℃)
CVD石墨烯和纳米管生长炉--铜箔-石墨烯专用
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