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ALD管式炉系统--ALD-GSL-4 2通道ALD控制单元
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ALD-GSL-4是一套2通道ALD控制系统,包含4通道质子流量计进行气体的混合和输送,可与本公司任意管式炉或腔体进行DIY,组建一套ALD系统,用于薄膜的制备或者粉末表面的包覆复合。LCD触摸屏可方便的对每一通道ALD的脉冲时间以及气体流量进行控制。
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