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OTF-1200X-F3LV 开启式单温区低真空CVD系统
OTF-1200X-III-D5- 4 1200℃双管三温区管式炉
GSL-1600X-II 1600℃双温区管式炉
GSL-1700X-4-C2HV 1700℃两通道混气高真空CVD系统
GSL-1700X-III-F3LV（2021） 1700℃三温区管式炉
OTF-1200X-4- C4LVS 1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统
OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV 高真空三温区CVD系统
OTF-1200X-4-NW 生长纳米线的CVD炉
OTF-1200X-4-RTP-C3HV 高真空快速CVD系统
OTF-1200X-5-III-F3LV 带滑动法兰三温区CVD系统
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