1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV是由单温区管式炉、两路质子混气系统和高真空机组组成，最高工作温度可达1600℃，混气系统可以对两种气体进行精确的混气，然后导入管式炉内部，本系统极限真空度可达10-5 torr。