采用旋片泵快速产生一个 < 3 Pa的真空压强，通常抽真空时间小 于3 分钟。采用磁控溅射技术，以大幅度减少等离子体对样品的热 影响和离子轰击损伤。特别适用于灯丝或台式SEM 电镜样品的喷 金、喷铂等贵金属镀膜用途。外型紧凑，触摸屏控制，即插即用。