MINI 150离子溅射仪采用高性能旋片泵快速产生一个低于 3Pa 的真空压强，通常抽真空时间小于3分钟。采用磁控溅射技 术，以大幅度减少等离子体对样品的热影响和轰击损伤。特 别适用于灯丝扫描电镜及入门级场发射电镜样品的喷金、喷 铂等贵金属镀膜用途。