S300是一款大面积喷镀高真空离子溅射仪，基于磁控溅射原 理，采用涡轮分子泵与无油隔膜泵组合，实现低于1×10-3 Pa的 洁净真空。配备自主研发的旋转样品台，只需要小尺寸的2英寸 阴极（大幅节约昂贵的贵金属靶材购买成本）就可在最大12英 寸晶圆面积内均匀稳定地沉积导电膜，适用于超高分辨率场发 射电镜样品的喷金、铂及其它易氧化金属喷镀。