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旋转-偏转样品台RTSS50
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旋转-偏转样品台RTSS50
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RTSS 50 作为Mini Coater离子溅射仪附件,结构紧凑,功能强 大。可同时实现 0-60 RPM公转、自转、行星转,以及-30度 至 +30 度偏转,和靶基距上下调节。并通过数字显示屏显示,直观方 便。 通过样品台的旋转和偏转,实现样品的多角度喷镀,显著提升 溅射膜层均匀性和均匀区面积,以及进一步细化喷镀颗粒,满足 更高倍率电镜观察需求。因此,旋转偏转样品台特别适合于粉 末、表面结构复杂、不规则、多孔等3D电镜样品的喷金,以及均 匀电极的制备。
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旋转-偏转样品台RTSS50