IC150是一款是一款结构紧凑、易于使用的等离子体清洗仪，采 用高性能无油干泵快速产生一个低于50Pa量级真空压强，然后 通过射频电源将空气离化，实现样品表面清洗活化之目的。感 应射频放电模式大幅降低了等离子体对样品的热影响和轰击损 伤。特别适用于对温度或轰击敏感的TEM样品进行清洗、表面 活化、亲水化等用途。