基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用先进的激光扫描方 式和探测技术，以及智能化的操作，使得FST5000薄膜应力仪特别 适合于晶圆类光电薄膜样品的弓高、翘曲、轮廓形貌、曲率半径 和薄膜应力测量和计算。