基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用先进控制技术和傻 瓜化的操作，使得FST1000薄膜应力仪特别适合于要求快速测量硬 质涂层等薄膜残余应力（典型值0.1GPa到10 GPa量级）。