VTC-16-3HD是一款紧凑型CE认证的等离子薄膜溅射仪(直流普通型)，基片最大尺寸2英寸，加热温度为500度和控制面板为触摸屏模式。它可以溅射三种类型的靶材和放置样品的直径是50mm . 旋转样品台，可以依次在同一样品上涂覆三种材料，金靶，银，铜, 它可以与真空泵，不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍相连用。