SPC150是一款高真空轻柔等离子体清洗仪，三个气路MFC可精 确控制气体流量，远程射频离子源电离气体产生温和的等离子 体，实现TEM样品和样品杆表面有机污染物和硅污染清除、样 品表面活化亲水化处理等用途。离子源和样品仓之间设有栅 网，可以产生更高效柔和的清洗效果，避免等离子体轰击损 伤，特别适用于超薄碳膜碳氢污染和硅污染清洗、脆弱敏感的 TEM样品等离子体处理等用途。