SPC150是一款高真空轻柔等离子体清洗仪，三个气路MFC可精确控制气体流量，远程射频离子源电离气体产生温和的等离子体，实现TEM样品和样品杆表面有机污染物和硅污染清除、样品表面活化亲水化处理等用途。离子源和样品仓之间设有栅网，可以产生更高效柔和的清洗效果，避免等离子体轰击损伤，特别适用于超薄碳膜碳氢污染和硅污染清洗、脆弱敏感的TEM样品等离子体处理等用途。 触摸屏控制，一体化设备，即插即用。