S20是一款双靶高真空离子溅射仪，基于磁控溅射原理，采用涡轮分子泵与无油隔膜泵组合，实现10⁻3 Pa量级的洁净真空。配备自主研发的旋转偏转样品台，可均匀稳定地沉积导电膜，适用于超高分辨率场发射电镜样品，特别是3D粉末和易损伤样品的喷金、铂及叠层薄膜。触摸屏控制，即插即用。