概述

     SR-i 在线膜厚监测装备采用行业领先微纳米薄膜光学测量创新技术，快速、连续监测工业产线上各式薄膜的膜厚以及光学常数，快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息。

产品特点

1）反射膜厚测头与电控系统结构示意图

2）支持编辑测量路径，连续监测并导出数据图表；

3）可在线模块化定制，结构紧凑、布点灵活、完美集成各式在线设备中；

SR-i 膜厚测量头技术规格：

产品应用

　　广泛应用于工业产线级片对片，卷对卷薄膜膜厚连续在线自动化监测。