产品名称

透射电镜样品杆清洗仪 SPC 150

产品图片

泵组

进口品牌涡轮分子泵 +无油隔膜泵

分子泵入口法兰

DN 63 ISO -K （标准）

前级泵/分子泵抽速

>0.7 m3/h; >80L/s （N2）

极限真空

<3*10-6 Torr

泵组启动时间

<300 s

TEM样品杆配件

适用于FEI、JOEL等品牌样品杆可选

样品腔室尺寸

～250 *100 mm， 强弱分区设置；可以放置最多3路TEM hoder

等离子体清洗源

远程RF射频源原理，手动匹配

清洗电源功率

13.56 MHz RF电源，5-50W 可调

清洗气体控制

标配外接2路MFC流量计控制，可以外接如Ar或O2等清洗气体

真空规

进口品牌全量程复合规

操作方式

触摸屏控制, 控制系统提供互锁保护功能

重量/尺寸

～30 kg/～600 mm宽*500 mm深*450 mm高

电源/功耗

220V AC，50/60Hz 接地三脚插头/<500 W

冷却方式

风冷

产品优势

适用于TEM透射样品杆的真空检漏、真空存储；TEM透射样品真空等离子清洗、亲水活化、积碳有机污染物清除；采用远程RF射频离子源室温清洗，高效、低等离子体轰击损伤