概述

SE-Vi 是一款集成式原位光谱椭偏仪，针对有机/无机镀膜工艺研究的需要开发的原位薄膜在线监测中的定制化开发，快速实现光学薄膜原位表征分析。

光路原理图

实时监测成膜工艺

实时膜厚表征

技术参数

产品应用

　　广泛应用于金属薄膜、有机薄膜、无机薄膜的物理/化学气相沉积，ALD沉积等光学薄膜工艺过程中实际原位在线监测并实时反馈测量物性数据。