光谱椭偏仪SE-VM

光谱椭偏仪SE-VM

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光谱椭偏仪SE-VM

  • 产品详情
  • 产品参数


▶高精度椭偏测量解决方案；

▶超高精度、快速无损测量；

▶支持多角度、微光斑、可视化调平系统功能模块灵活定制；

▶丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力。


产品特点

1）采用高性能进口复合光源，光谱覆盖可见到近红外范围 (380-1000nm)；


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2）高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集；


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3）支持系列配置灵活，可根据不同应用场景支持多功能模块化定制；


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4）数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料；


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产品应用

广泛应用于镀膜工艺控制、tooling校正等测量应用,实现光学薄膜、纳米结构的光学常数和几何特征尺寸快速的表征分析。


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建议配件


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温控台Mapping扩展模块真空泵透射吸附组件



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描述
SE-VM 是一款高精度快速测量光谱椭偏仪。可通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量，快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析，适用于薄膜材料的快速测量表征。支持多角度，微光斑，可视化调平系统等高兼容性灵活配置，多功能模块定制化设计。