▶全基片椭偏绘制化测量解决方案

▶支持产品设计以及功能模块定制化，一键绘制测量

▶配置Mapping模块，全基片自定义多点定位测量能力

▶丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力

产品特点

1）采用氘灯和卤素灯复合光源，光谱覆盖紫外到近红外范围 (193-2500nm)；

2）高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集；

3）具备全基片自定义多点自动定位测量能力，提供全面膜厚检测分析报告；

4）数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料；

产品应用

　　广泛应用OLED，LED，光伏，集成电路等工业应用中,实现大尺寸全基片膜厚、光学常数以及膜厚分布快速测量与表征。

建议配件