RTP-1000-LV3C 是一款 4" RTP (快速热处理) 管式炉。配有三路流量计和一个机械泵（真空度达 10-3 torr ）。他专为半导体基片和太阳能电池或其他样品（尺寸可达 3" ）退火而设计。 这款设备是采用 9KW的红外灯加热，最快升温速度是 100oC/秒. 30 段精确温度控制，精度是 +/-1oC.。RS485 接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。安装在移动架里的三路气体控制和真空泵跟RTP 炉体相连接。