PCE-500W 500W等离子刻蚀清洗机
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描述
PCE-500W是一款较大型的500W等离子刻蚀清洗机，等离子腔体为 8.5 "dia x 14.4"L的石英腔体，采用的射频电源频率为13.56MH，功率0 -500W连续可调节。此款设备功率高，可用于等离子刻蚀、等离子灰化、表面改性以及材料掺杂改性等应用，对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。
