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OTF-1200X-S-FBUS 带超声雾化的流化床CVD管式炉系统
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OTF-1200X-S-FBUS 带超声雾化的流化床CVD管式炉系统
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产品参数
描述
OTF-1200X-S-FBUS是一款带超声雾化模块的立式流化床管式炉系统,可适用于粉末材料的CVD工艺中(FBCVD)。此系统由颗粒悬浮立式管式炉和超声雾化模块组成。炉管内部嵌有一多孔石英板,石英板的孔径为5-15um.粉末可放在多孔石英板上,气体可从炉管下端通入,通过多孔石英板使样品颗粒悬浮在加热区域,进行沉积实验。对于核壳结构的纳米颗粒制备是一款理想的实验仪器。
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OTF-1200X-S-FBUS 带超声雾化的流化床CVD管式炉系统