OTF-1200X-III-VT是一款三温区的立式管式炉，最高温度可达到1200℃。此款管式炉不仅可在真空或气氛保护环境下对样品进行快速地热处理和淬火，同时也可用PVD、CSS和CVD方法来制作薄膜。三个温区分别由三个独立的温控系统来控制，每个温区可设置30段升降温程序，其控温精度为+/-1℃，炉体下端安装有一移动炉架，以便于设备移动。