OTF-1200X-5S是一款CE认证的小型开启式管式炉，其最高工作温度可以达到1150℃。炉管Φ130mm(或100mm)的高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰，可在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统，可设置30段升降温程序，控温精度为+/- 1℃。此款管式炉最多可对5英寸的晶片进行退火。