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OTF-1200X-4-RTP-HV-高真空4"RTP 炉 (1E-4 torr)
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OTF-1200X-4-RTP-HV-高真空4"RTP 炉 (1E-4 torr)
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描述
OTF-1200X-4-RTP-HV是一款精巧型快速热处理管式炉(4" 石英管), 配有高真空系统(机械泵 +分子泵) ,带KF-D25 真空法兰.它是专为半导体或太阳能电池基片(最大达3“)的退火而设计,采用10KW红外灯管加热,最快升温速度为 120°C/second. 30 段温度控制,精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。
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OTF-1200X-4-RTP-HV-高真空4"RTP 炉 (1E-4 torr)