产品名称

薄膜应力仪FST5000（光电薄膜）

产品图片

基本原理

激光曲率法

Stoney公式计算内应力

主要方法

采用双波长激光对样品进行扫描测量

635nm/670nm波长，＞5mW

主要功能

自动测量晶圆样品轮廓形貌、弓高、翘曲度、曲率半径和薄膜应力

薄膜应力测试范围

1MPa～10000MPa

曲率半径测试范围

2～1000m

曲率半径重复精度

＜1%（曲率半径＜20m）

＜2.5%（曲率半径＜100m）

＜5%（曲率半径＜500m）

扫描最小步长

0.1mm

样品尺寸

子型号M6-标配最大6英寸，向下兼容4、3、2、1英寸

子型号M8-标配最大8英寸，向下兼容6、4、3、2、1英寸

子型号M12-标配最大12英寸，向下兼容8、4、3、2、1英寸

样品台

电动旋转平台

样品基片校正

可数据处理校正原始表面不平影响（对减模式）

电源

110-220VAC&200W Max

通讯连接端口

USB3.0

工作温度

0-50℃

操作软件

可视化2D/3D显示晶圆表面轮廓、弓高、翘曲

曲率半径和薄膜应力分布

视窗界面，适用于Windows 10系统

操作电脑

标配台式一体机：

显示器≥21英寸，≥8G内存，CPU≥2.5GHz，≥512G硬盘

外形尺寸

～850mm宽*550mm深*450mm高

重量

～35Kg