基于经典的基片弯曲法SToney公式测量原理,采用先进控制技术和傻瓜式操作,使用FST1000薄膜应力仪特别适合于要求快速测量硬质涂层等薄膜残余应力(典型值0.1GPa至10GPa量级)。
源自于中科院金属研究所和深圳职业技术学院相关研究成果转化,专利号:CN204854624U;CN203688116U;CN100465615C。
产品名称 | 薄膜应力仪FST1000(硬质涂层) |
产品图片 | |
基本原理 | 激光曲率法/Stoney公式计算内应力 |
薄膜应力测试范围 | 10MPa~50GPa |
曲率半径测试范围 | 0.5~50m |
薄膜应力计算精度 | <3% |
曲率半径重复精度 | <2% |
测试平台行程 | X方向:30mm;Y方向:100mm;步长:Min 0.1mm |
样品尺寸 | 建议长宽比>5:1的长方形样品;典型尺寸:10*50*1mm |
样品校正 | 可计算校正原始表面不平直影响(对减模式) |
主要功能 | 可测量样品材料参数、测量参数数据库 自动测量样品表面轮廓、曲率、弓高等数据 自动计算曲率半径和薄膜应力 2D/3D可视化样品表面轮廓、曲率半径、弓高、薄膜应力等数据 |
电源电压 | 220VAC电源适配器&500W Max |
工作温度 | 0-50℃ |
操作软件 | 视窗界面,适用于Windows 10系统 |
操作电脑 | 配置优于2GHz CPU、8G内存、256G硬盘、不小于21寸显示屏知名品牌一体机 |
外形尺寸 | ~650mm宽*350mm深*400mm高 |
重量 | ~25Kg |