薄膜应力仪FST1000(硬质涂层)

薄膜应力仪FST1000(硬质涂层)

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薄膜应力仪FST1000(硬质涂层)

  • 产品详情
  • 产品参数

       基于经典的基片弯曲法SToney公式测量原理,采用先进控制技术和傻瓜式操作,使用FST1000薄膜应力仪特别适合于要求快速测量硬质涂层等薄膜残余应力(典型值0.1GPa至10GPa量级)。

       源自于中科院金属研究所和深圳职业技术学院相关研究成果转化,专利号:CN204854624U;CN203688116U;CN100465615C。



产品名称

薄膜应力仪FST1000(硬质涂层)

产品图片

应力仪FST100(硬质涂层)修改图-1.png

基本原理

激光曲率法/Stoney公式计算内应力

薄膜应力测试范围

10MPa50GPa

曲率半径测试范围

0.550m

薄膜应力计算精度

<3%

曲率半径重复精度

<2%

测试平台行程

X方向:30mm;Y方向:100mm;步长:Min 0.1mm

样品尺寸

建议长宽比>5:1的长方形样品;典型尺寸:10*50*1mm

样品校正

可计算校正原始表面不平直影响(对减模式)

主要功能

可测量样品材料参数、测量参数数据库

自动测量样品表面轮廓、曲率、弓高等数据

自动计算曲率半径和薄膜应力

2D/3D可视化样品表面轮廓、曲率半径、弓高、薄膜应力等数据

电源电压

220VAC电源适配器&500W Max

工作温度

0-50℃

操作软件

视窗界面,适用于Windows 10系统

操作电脑

配置优于2GHz CPU、8G内存、256G硬盘、不小于21寸显示屏知名品牌一体机

外形尺寸

650mm*350mm*400mm

重量

25Kg



          应力仪FST1000测量原理.png