技术规格

参数

泵组

美国Welch 油泵

抽速

> 2 m3/h

极限真空

< 2 Pa

抽真空时间

< 1 Min

真空规

德国Leybold 皮拉尼真空计

样品腔室尺寸

~Ø 150 * 90 mm 耐划伤石英玻璃

射频源

靶源尺寸 Ø 80 mm

射频功率

可调功率工作范围：10-50 W， 13.56 MHz

工作压强

10-100 Pa

气体控制

恒定压强闭环控制

操作方式

触摸屏控制

重量

< 30 kg

尺寸

~440 mm长*310 mm深*380 mm高

电源

110-220V AC，50/60Hz 接地三脚插头

功耗

<500 W

冷却方式

风冷

质量保证

一年免费/终身维护

备注

以上所列技术规格与参数更新恕不另行通知，如有疑问请联系我们